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扩散泵抽气系统常见的故障及其排除措施

扩散泵抽气系统常见的故障及其排除措施如下（同时参见表1着力增进资源整合5）：

(1) 如果扩散泵抽气系统不漏气，而系统的极限压力却一直达不到预想的结IP电话果，则可能是系统设计不合理，有效抽速低；或真空规电极放气和真空规本身受光电流的限制，测不出低压力。

(2)如果在长时间使用后，扩散泵或机组的抽气性能逐渐变坏，即极限真空度和抽速降低，而其它情况正常，则主要是扩散泵油逐渐氧化，质量变坏。这时，应更换新扩散泵油。换油步骤为：先把扩散泵卸下，取出泵芯，按要求将泵芯清洗烘干后正确装配并加新油。

(3)由于特殊原因，如真空规管炸裂，误开真空容器放气阀或未关闭高真空阀等，使扩散泵内突然漏进大气时，应立即关闭高真空阀门，停止扩不要对计算机进行任何的操作散泵加热并强迫油锅冷却。消除故障后，应作抽气试验，并根据其结果判断是否需指纹锁要更换扩散泵油。

(4)扩散泵经拆装接入系统后，如果系统一切均严格按前述操作程序进行抽气的话，则应该能达到泵原极限压力；如果仔细反复调整各喷口间隙，真空度还应有所提高。如果真空度抽不上去，则首先检查该泵所在系统的漏气率是否超过允许值；同时检查扩散泵的加热器是对上游的材料企业也提出了更高的要求否烧断、供电电压是否正常、泵的冷却是否正常。如果上述方面一切均正常，则可认为是泵芯装配方面的问题，如装歪、喷嘴间隙不对、泵芯在装配前未清洗干净、有机溶剂未烘干、泵油不够或装入了质量不好的泵油及加热功率调整不正确等。

(5)如果扩散泵的工作一直正常，而且也不是动了系统而使某处漏气，而使机组的抽气性能并于航天5院保持密切的技术交换突然变坏，则可能是扩散泵电炉丝断了或保险丝断了，应及时检查更换。

(6)如果前级泵工作不正常或抽气容量不够，也会使扩散泵工作不正常。

(7)环境温度、湿度、冷却水温度等使用条件对扩散泵贵溪的抽气性能影响也较大。例如，当环境温度过高（超过35℃）时，扩散泵性能即开始降低。

(8)扩散泵加热功率调整得不正确，也可使扩散泵的工游戏设备作状态不正常。调加热功率时，最好能找到返油率最低点的合适温度。

(9)油蒸气返流污染系统，也可使系统得极限压力达不到预期结果，可参照真空技术前文采取措施加以改进。

表15 油扩散泵抽气系统常见故障及排除方法